Получение и исследование слоёв b-дикетонатов палладия. Нанесение слоёв b-дикетонатов палладия.
Для получения плёнок b-дикетонатов палладия использовался метод испарения исходного соединения из разработанного молекулярного источника паров. В качестве источника паров служила разработанная камера из стали с эффузионным отверстием. Диаметр отверстия составлял 0,030 см. Эффузионная камера помещалась в нагревательный блок из нержавеющей стали. Источник был смонтирован на стандартном держателе универсального вакуумного поста ВУП-5М. Температуру испарителя с помощью терморегулятора ПИТ-3 и контролировали хромель-алюмелевой термопарой. Температура подложки при напылении оставалась комнатной (» 180С). Расстояния от эффузионного отверстия до подложки рассчитаны с учётом углового распределения интенсивности молекулярного пучка формируемого эффузионным отверстием, для получения равномерных в пределах допусков плёнок (на уровне 5%) на подложках диаметром » 20 мм. Напыление производили в вакууме при P = 10-6 torr. Схема установки для получения пеленок представлена на
рисунке 9.
Смотрите также
Что такое природный газ?
Еще три
века назад слова “газ” не существовало. Его впервые ввел в XVII веке голландский ученый Ван-Гельмонт. Оно определяло вещество, в
отличии от твердых и жидких тел способное ...
Методы разделения иммуноглобулинов
Иммуноглобулины - основные защитные белки
организма, так как они обладают свойствами различных антител. Они содержатся
в крови, молозиве и молоке, слюне и других жидкостях. С их количест ...
Химия в решении сырьевой проблемы
В наши дни, когда
человеческое развитие достигло высот, такие проблемы, как экология,
продовольствие, энергия заставляют задуматься о будующем.
Как мне кажется, эта
тема наиболее актуа ...