Получение и исследование пленок бета-дикетонатов палладия(II).
(в таблицах приняты следующие обозначения: n(ху) – валентное колебание с участием атомов х и у, d(хуz) – деформация угла, образованного атомами хуz, dхелат – деформация хелатного цикла в целом, при котором участвуют все связи и углы в равной степени, d - деформационное колебание)
На основе выше перечисленных данных по температурной зависимости давления пара бета-дикетонатов были оптимизированы режимы напыления пленок данных хелатов. Найдено, что оптимальная температура испарения Pd(aa)2 100-110 оС, Pd(dbm)2– 220-230 оС остаточное давление в реакторе – 5×10-5 Торр.
Рис. 15. Ориентация молекул Pd(aa)2 в плёнке (поверхность подложки совпадает с плоскостью листа).
Смотрите также
Энергетика химических
процессов.
Любой
химический процесс сопровождается тем или иным энергетическим эффектом:
выделение или поглощение теплоты, света, выполнением электрической или
механической работы.
Знание
энергетических э ...