Получение и исследование пленок бета-дикетонатов палладия(II).

Страница 5

(в таблицах приняты следующие обозначения: n(ху) – валентное колебание с участием атомов х и у, d(хуz) – деформация угла, образованного атомами хуz, dхелат – деформация хелатного цикла в целом, при котором участвуют все связи и углы в равной степени, d - деформационное колебание)

На основе выше перечисленных данных по температурной зависимости давления пара бета-дикетонатов были оптимизированы режимы напыления пленок данных хелатов. Найдено, что оптимальная температура испарения Pd(aa)2 100-110 оС, Pd(dbm)2– 220-230 оС остаточное давление в реакторе – 5×10-5 Торр.

Методом рентгенофазового анализа было установлено, что плёнка Pd(aa)2 поликристаллическая, а плёнка Pd(dbm)2 рентгеноаморфна. На рисунке 14 представлены дифрактограммы пленки и порошка Pd(aa)2. Интенсивности дифракционных линий свидетельствуют о наличии текстуры в пленке. В пленке Pd(aa)2 плоскости (101) и (-101) кристаллитов ориентированы преимущественно параллельно поверхности подложки при этом угол наклона молекул Pd(aa)2 относительно плоскости подложки составляет 840 (рис.15).

Рис. 15. Ориентация молекул Pd(aa)2 в плёнке (поверхность подложки совпадает с плоскостью листа).

Страницы: 1 2 3 4 5 

Смотрите также

Материальный баланс
Основой материального баланса является закон сохранения материи, согласно которому количество материала, поступающего в процесс (приходные статьи материального баланса), равняется количеству продук ...

Очистка металлов от вредных примесей
...

Кальций
Соединения кальция – известняк, мрамор, гипс (а также известь – продукт известняка) уже в глубокой древности применялись в строительном деле. Вплоть до конца 18 века химики считали известь ...