Пиролиз МОС.

Страница 2

возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;

отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;

возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.

Страницы: 1 2 

Смотрите также

Заключение
Результаты термодинамического расчета показали, что каталитическая добавка сажи значительно снижает  и  по сравнению с исходным составом, снижает содержание в продуктах сгорания конденсированных вещ ...

Атомно-эмиссионный спектральный анализ
...

Вывод
В процессе производственной деятельности образуются отходы, которые нарушают экологическое равновесие, загрязняя окружающую среду, и снижают степень извлечения ценных компонентов, содержащихся в ис ...