Диффузионная модель процесса ВГ.
n эффективность геттерирования является функцией температуры, причем существует оптимальная температура для максимальной эффективности этого механизма геттерирования;
n геттер (преципитат SiO2) действует не только как сток для примесей, но и как источник междоузлий Si, которые активируют процесс ВГ;
n собственные междоузлия кремния, инжектируемые растущим преципитатом в объем кристалла, взаимодействуют с геттерируемыми атомами, и напряжения влияют на увеличение дрейфового потока.
Смотрите также
Выводы:
1.
Синтезированы и охарактеризованы бета-дикетонаты
палладия.
2.
Проведено исследование колебател ...
Пищевые жиры
...
Энергия активации
Химическая кинетика - это наука о
скоростях и механизмах химических превращений, о явлениях, сопровождающих эти
превращения, и о факторах, влияющих на них.
Механизм реакции - это последо ...