Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Вискозиметрическое исследование комплексообразования ЭЭАКК/АК с ионом стронция
...
Водородная связь
Помимо различных
гетерополярных и гомеополярных связей, существует еще один особый вид связи,
который в последние два десятилетия привлекает все большее внимание химиков.
Это так называемая ...
Вода
Вода, у тебя нет ни цвета, ни вкуса, ни запаха, тебя
невозможно описать, тобой наслаждаются, не ведая, что ты такое. Нельзя сказать,
что необходимо для жизни: ты сама жизнь. Ты исполняешь ...