Источники загрязнений.
Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.
Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.
Смотрите также
Творческая работа по химии: кислород
...
Биография и научная деятельность М.В. Ломоносова
...
Эволюционная химия
Тема
моего реферата: «эволюционная химия – высшая ступень развития химических
знаний». В нем будут рассмотрены вопросы, касающиеся места и роли химии в современной
цивилизации, задачи, конц ...