Источники загрязнений.
Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.
Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.
Смотрите также
Водорастворимые витамины
К водорастворимым
относятся витамины группы В (В1, В2, В3, В5,
В6, В12, витамин Н, витамин С, и др.). В химическом отношении
витамины группы В объединяет то, что все они содержат азот, то е ...
Характеристика исходного сырья
Добываемая из скважин эмульсия
представляет собой многофазную систему, состоящую из нефти, пластовой воды и
попутных нефтяных газов. Нефть представляет собой химически сложную компонентную
смесь, ...
Биохимия углеводов в организме человека
Важнейшими
химическими соединениями живых организмов являются углеводы. Они широко
распространены в природе, в растительном мире они составляют 70-80% из расчета
на сухое вещество, у животн ...