Способы сухой очистки пластин и подложек.
Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.
Смотрите также
Основы квантовой механики и ее значение для химии
...
Колебательные химические реакции
...
Введение
Физическая химия – наука, объясняющая химические
явления и устанавливающая их закономерности на основе общих принципов физики.
Общая задача физической химии – предсказание
временного хода химичес ...