Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

Смотрите также

Свойства дикарбоновых кислот и их ангидридов
Дикарбоновыми (или по-другому двухосновными) называют карбоновые кислоты, которые содержат две карбоксильные группы: . Двухосновные кислоты – бесцветные кристаллические вещества, в замет ...

Методики теоретического и экспериментального исследования системы Al - АГСВ - каталитические добавки
  В данной главе описаны основные методики, которые использовались в данной работе. А именно: – методика термодинамического расчета по программе Астра-4; – методика зажигания нагретой ...

Синтез гексагидроксоплатината калия
Платина и ее соединения широко используются в качестве катализаторов во многих химических и электрохимических процессах, в частности, в процессах окисления метанола и СО. Учитывая высокую ст ...