Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Жидкие растворы
Растворы находят
широкое применение в самых различных областях практики. Категории растворов
относятся и природный раствор воды, и такие материалы, как сырая нефть и
различные нефтепродукты ...
Металлы жизни
...
Этанол
Спиртами
называются органические вещества, молекулы которых содержат одну или несколько
функциональных гидроксильных групп, соединенных с углеводородным радикалом.
Они могут
рассматр ...