Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной)
|
|
1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.
Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7
N0=0,02 % (массовых) = 4,62×10-3 % (атомных) = 2,31×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
|
Участок зонной плавки |
Участок направленной Кристаллизации | ||||
|
а |
Nтв, см-3 |
r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
g (a=10) |
Nтв, см-3 |
r , Ом×см (по кривым Ирвина) |
|
Vкр=2,5×10-3 см/с | |||||
|
0 |
8,64 1016 |
0,11 |
0 |
7,22 1017 |
0,028 |
|
1 |
1,68 1017 |
0,075 |
0,2 |
8,95 1017 |
0,023 |
|
2 |
2,47 1017 |
0,052 |
0,4 |
1,18 1018 |
0,0215 |
|
3 |
3,22 1017 |
0,047 |
0,6 |
1,74 1018 |
0,0192 |
|
4 |
3,95 1017 |
0,04 |
0,8 |
3,4 1018 |
0,014 |
|
5 |
4,66 1017 |
0,038 |
0,9 |
6,62 1018 |
0,0082 |
|
6 |
5,33 1017 |
0,033 |
0,99 |
6 1019 |
0,00135 |
|
7 |
6 1017 |
0,031 |
– |
– |
– |
|
9 |
7,22 1017 |
0,028 |
– |
– |
– |
|
Vкр=8,33×10-3 см/с | |||||
|
0 |
2,54 1017 |
0,051 |
0 |
1,55 1018 |
0,02 |
|
1 |
4,68 1017 |
0,038 |
0,2 |
1,89 1018 |
0,018 |
|
2 |
6,6 1017 |
0,03 |
0,4 |
2,44 1018 |
0,016 |
|
3 |
8,32 1017 |
0,027 |
0,6 |
3,5 1018 |
0,013 |
|
4 |
9,86 1017 |
0,024 |
0,8 |
6,49 1018 |
0,0085 |
|
5 |
1,12 1018 |
0,022 |
0,9 |
1,2 1019 |
0,0055 |
|
7 |
1,36 1018 |
0,0205 |
0,99 |
9,3 1019 |
0,00088 |
|
8 |
1,46 1018 |
0,02 |
– |
– |
– |
|
9 |
1,55 1018 |
0,02 |
– |
– |
– |
|
Vкр=2,5×10-2 см/с | |||||
|
0 |
1,8 1018 |
0,019 |
0 |
2,31 1018 |
0,0157 |
|
1 |
2,08 1018 |
0,017 |
0,2 |
2,42 1018 |
0,0156 |
|
2 |
2,2 1018 |
0,016 |
0,4 |
2,58 1018 |
0,015 |
|
3 |
2,26 1018 |
0,0158 |
0,6 |
2,82 1018 |
0,014 |
|
5 |
2,3 1018 |
0,0157 |
0,8 |
3,29 1018 |
0,0137 |
|
7 |
2,31 1018 |
0,0157 |
0,9 |
3,83 1018 |
0,012 |
|
9 |
2,31 1018 |
0,0157 |
0,99 |
6,36 1018 |
0,0086 |
Смотрите также
Полигалогенпроизводные алканов
...
Охрана труда сегодня, как никогда, актуальна
Опыт крупнейших мировых компаний показывает, что охрану труда высшие руководители считают одним из главных приоритетов. Так, из десятков показателей деятельности предприятия охрану труда и здоровья св ...